衡量傳感器靜態特性的重要指標有線性度、重復性、遲滯、精度、靈敏度、閾值和分辨 力、漂移等。

1. 線性度 為了標定和數據處理的方便，總是希望傳感器的輸出與輸入呈線性關系，并能準確無誤 地反映被測量的真值，但實際上往往是不可能的。通常，將測出的輸出-輸入校準曲線與某一 選定擬合直線不吻合的程度稱為傳感器的“非線性誤差”或稱為“線性度”。

2. 重復性 重復性能夠反映出傳感器的精密程度，它是指傳感器在同一工作條件下，被測量在同一 方向作多次重復檢測時，所得輸出值(或校準曲線)的一致程度。

3. 遲滯 遲滯表明傳感器在正(輸入量增大)、反(輸入量減小)行程期間，輸出-輸入曲線不重合的程 度。也就是說，對應于同一大小的輸入信號，傳感器正、反行程的輸出信號大小不等。遲滯 是傳感器的一個性能指標，它反映了傳感器的機械部分和結構材料方面不可避免的弱點，如 軸承摩擦，灰塵積塞，間隙不適當，元件腐蝕、碎裂以及材料本身的物理性滯后等。

4. 精度 精度是反映系統誤差和隨機誤差的綜合誤差指標。一般用方和根法或代數和法計算。用 重復性、線性度、遲滯三項的方和根或簡單代數和表示(但方和根用的較多)：

5. 靈敏度 靈敏度是指傳感器的輸出量增量與輸入量增量之比，用 k 來表示。 線性傳感器的靈敏度就是擬合直線的斜率

6. 閾值、分辨力 當一個傳感器的輸入從零開始緩慢地增加時，只有在達到某一最小值后，才測得出輸出 變化，這個最小值就稱為傳感器的閾值。 分辨力是指當一個傳感器的輸入從非零的任意值緩慢地增加時，只有在超過某一輸入增 量后輸出才顯示有變化，這個輸入增量稱為傳感器的分辨力。有時用該值相對滿量程輸入值 之百分比表示，則稱為分辨率。 閾值說明了傳感器的最小可測出的輸入量；分辨力說明傳感器的最小可測出的輸入變量。

7. 時間漂移、零點和靈敏度溫度漂移 漂移量的大小是表征傳感器穩定性的重要性能指標。傳感器的漂移有時會導致整個測量 或控制系統處于癱瘓。零點和靈敏度兩種漂移的疊加。時間漂移通常是指傳感 器零位隨時間變化的大小。